Metallinen pyörivä kohde
Ortogonaaliset magneetti- ja sähkökentät kohdistetaan sputterointikohteen (katodin) ja anodin väliin.Ja täytä vaadittu inertti kaasu (yleensä Ar-kaasu) suurtyhjiökammioon.Sähkökentän vaikutuksesta Ar-kaasu ionisoituu positiivisiksi ioneiksi ja elektroneiksi.Kohteeseen kohdistetaan tietty negatiivinen korkea jännite, magneettikenttä vaikuttaa kohteen emittoimiin elektroneihin, työkaasun ionisaatiotodennäköisyys kasvaa, katodin lähelle muodostuu tiheä plasma ja vaikutus Ar-ioneihin. Lorentzin voiman toimesta.Kiihdytä sitten lentääksesi kohdepintaan ja pommittele kohdepintaa suurella nopeudella, jotta kohteen sputteroidut atomit noudattavat liikemäärän muuntamisen periaatetta, lentävät kohdepinnalta alustalle ja kerrostavat korkean kineettisen energian kalvon.
Kohdemateriaalin käyttöasteen parantamiseksi edelleen suunnitellaan pyörivä katodi, jolla on korkeampi käyttötehokkuus, ja sputterointipäällystykseen käytetään putkimaista kohdemateriaalia.Sputterointilaitteiston parantaminen vaatii kohteen muuttamisen litteästä putkimaiseen muotoon ja putkimaisen pyörivän kohteen käyttöaste voi olla jopa 70 %, mikä ratkaisee pitkälti litteän kohteen alhaisen käyttöasteen ongelman.
Tuotteiden nimi | Metallinen pyörivä maalitaulu |
Materiaali | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Kuuma myyntikoko | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Voidaan myös käsitellä asiakkaiden erityisvaatimusten mukaisesti |
MOQ | 3 palaa |
Paketti | Ply puinen kotelo |
Sovellus
Sputterointipinnoitus on uudenlainen fyysinen höyrypinnoitusmenetelmä.Haihdutuspinnoitusmenetelmään verrattuna sillä on ilmeisiä etuja
monessa suhteessa.Metalliruiskutuskohteita on käytetty monilla aloilla.Pyörivän kohteen pääsovellus.
■Aurinkokennot
■Arkkitehtoninen lasi
■Auto lasi
■Puolijohde
■Taulutelevisio jne
tilaus Informaatio
Tiedusteluissa ja tilauksissa tulee olla seuraavat tiedot:
☑Kohteen määritys ID×OD×L (mm).
☑Vaadittu määrä.
☑Ota yhteyttä lisätarpeita varten.