Elektronisuihkuhaihdutusmenetelmä on eräänlainen tyhjöhöyrystyspinnoite, joka käyttää elektronisuihkua suoraan haihdutusmateriaalin lämmittämiseen tyhjiöolosuhteissa, höyrystämään haihdutusmateriaalin ja kuljettamaan sen alustalle sekä kondensoimaan substraatille ohuen kalvon muodostamiseksi.Elektronisuihkulämmityslaitteessa kuumennettu aine sijoitetaan vesijäähdytteiseen upokkaaseen, joka voi välttää haihdutusmateriaalin ja upokkaan seinämän välisen reaktion ja vaikuttaa kalvon laatuun.Laitteeseen voidaan sijoittaa useita upokkaita, jolloin saavutetaan eri aineiden samanaikainen tai erillinen haihdutus ja kerrostuminen.Elektronisuihkuhaihdutuksella mikä tahansa materiaali voidaan haihduttaa.
Elektronisuihkuhaihdutus voi haihduttaa korkean sulamispisteen materiaaleja.Verrattuna yleiseen vastuslämmityshaihdutukseen, sillä on suurempi lämpötehokkuus, suurempi säteen virrantiheys ja nopeampi haihtumisnopeus.Kalvot ja kalvot erilaisista optisista materiaaleista, kuten johtavasta lasista.
Elektronisuihkuhaihduttamisen ominaisuus on, että se ei peitä tai vain harvoin peitä kohteen kolmiulotteisen rakenteen kahta puolta ja yleensä vain kerrostuu kohteen pinnalle.Tämä on ero elektronisuihkun haihtumisen ja sputteroinnin välillä.
Elektronisuihkuhaihdutusta käytetään yleisesti puolijohdetutkimuksessa ja -teollisuudessa.Kiihdytettyä elektronienergiaa käytetään iskemään materiaalikohteeseen, jolloin materiaalikohde haihtuu ja nousee.Lopulta talletettu kohteeseen.
Postitusaika: 2.12.2022